微型探針冷熱臺上蓋與底殼構(gòu)成一個可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。

半導(dǎo)體冷熱臺腔內(nèi)可以充入保護氣體或抽真空（依據(jù)不同型號），來防止樣品在負溫下結(jié)霜。

顯微鏡冷熱臺上蓋與底殼構(gòu)成一個氣密腔，可往內(nèi)充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。此外冷熱臺帶有可從密封腔外移動樣品的XY樣品微分移動尺。

微型線軌探針冷熱臺上蓋與底殼構(gòu)成一個可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。