微型線軌探針冷熱臺上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮?dú)獾缺Ｗo(hù)氣體，來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。

HCP421V-MP微型線軌探針冷熱臺可單獨(dú)使用，也可搭配顯微鏡/光譜儀使用。其可在-190℃~400℃范圍內(nèi)控溫，同時(shí)允許探針電測試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮?dú)獾缺Ｗo(hù)氣體，來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。

微型線軌探針冷熱臺功能特點(diǎn)：

迷你溫控探針臺，可用于顯微鏡/光譜儀

-190℃~400℃可編程控溫（負(fù)溫需配液氮制冷系統(tǒng)）

直徑26 mm加熱區(qū)

可抽真空的腔體，亦可充入保護(hù)氣體使用

模塊化設(shè)計(jì)，可自由組合

*可升級獨(dú)立的4-8獨(dú)立探針，可從設(shè)備外部移動(dòng)探針進(jìn)行點(diǎn)針,可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDKSMA接頭轉(zhuǎn)BNC四探針，手動(dòng)點(diǎn)針

*可選三同軸接口，用于pA的級測試

*可做定制或改動(dòng)，詳詢上海恒商獨(dú)立的四個(gè)探針，可從設(shè)備外部移動(dòng)探針進(jìn)行點(diǎn)針

溫控參數(shù)

溫度范圍 -190℃~400℃（負(fù)溫需配液氮制冷系統(tǒng)）

傳感器/溫控方式100Ω鉑RTD/PID控制（含LVDC降噪電源）

最大加熱/制冷速度30℃/min

最小加熱/制冷速度±0.01℃/min

溫度分辨率0.01℃

溫度穩(wěn)定性±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

軟件功能 可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線

電學(xué)參數(shù)

探針 默認(rèn)為錸鎢材質(zhì)的彎針探針*可選其他種類探針

探針座線性導(dǎo)軌底座結(jié)合杠桿式探針支架，移動(dòng)靈活，點(diǎn)針力度更大，電接觸性更好

點(diǎn)針手動(dòng)點(diǎn)針，每個(gè)探針座都可點(diǎn)到樣品區(qū)上任意位置

探針接口默認(rèn)為SMA接頭轉(zhuǎn)BNC

*可增設(shè)腔內(nèi)接線柱（樣品接電引線）

樣品臺面電位默認(rèn)為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口

非磁性改造 臺體可改用非磁性材質(zhì)制造，用于變溫霍爾效應(yīng)探針測試

光學(xué)參數(shù)

適用光路 反射光路*另有透射光路型號

窗片可拆卸與更替的窗片

最小物鏡工作距離8 mm*截面圖中WD

透光孔臺面默認(rèn)無通光孔，可增設(shè)通光孔以支持透射光路

上蓋窗片觀察窗片范圍φ27mm，最大視角±45°*截面圖中θ1

負(fù)溫下窗片除霜 吹氣除霜管路

結(jié)構(gòu)參數(shù)

加熱區(qū)/樣品區(qū) 直徑26 mm

樣品腔高5.4 mm*樣品最大厚度由探針決定

放樣打開上蓋后置入樣品再點(diǎn)針，關(guān)上蓋后無法移動(dòng)探針

氣氛控制可抽真空的腔體，亦可充入保護(hù)氣體使用

外殼冷卻可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近

安裝方式水平安裝或垂直安裝

臺體尺寸/重量 250 mm x 180 mm x 55 mm/2400g

配置列表

基本配置 HCP421V-MP溫控探針臺、mK2000B溫控器

可選配件 液氮制冷泵、循環(huán)水機(jī)、安裝支架、測試源表、真空系統(tǒng)、電化學(xué)工作站、臺面電懸空、樣品接電引線

適用范圍

用于搭配Instec冷熱臺、Instec溫控探針臺、Instec溫控晶圓夾盤、Instec冷熱平板、Instec定制溫控裝置使用

溫控配件系列

安裝支架：用于將溫控裝置固定在用戶設(shè)備上

mK2000B溫控器，含InstecAPP溫控軟件，溫控裝置必選

LN2-SYS液氮制冷系統(tǒng)：液氮泵+液氮罐+液氮管線

外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)，帕爾貼式溫控裝置必選

MITO系列溫控聯(lián)用顯微鏡相機(jī)，含控制軟件

LWDC2長工作距離聚光鏡

真空系統(tǒng)：包括真空泵+真空管路，用于真空型溫控裝置

LN2-SYS液氮制冷系統(tǒng)

主要分為液氮泵和液氮罐兩部分。使用時(shí)需用管路將溫控裝置串接在液氮罐和液氮泵之間，溫控裝置加熱塊內(nèi)埋有封閉式進(jìn)出管路，液氮泵受mK2000B控制進(jìn)行抽氣，把液氮從液氮罐內(nèi)吸到溫控裝置的加熱塊中，實(shí)現(xiàn)溫控裝置主動(dòng)降溫。

外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)

用于溫控裝置的外殼/底座的冷卻。溫控裝置加熱/制冷時(shí)，外殼/底座溫度會被帶得很燙/很涼，危害周遭人員設(shè)備甚至設(shè)備自身。用循環(huán)水讓外殼溫度保持在常溫附近，能有效預(yù)防此災(zāi)害。

mK2000B溫控器

支持恒溫、恒速率變溫、暫停、編程溫控功能。具有冷熱獨(dú)立的多段PID控制、可保存4套20段校準(zhǔn)表等特點(diǎn)?？瑟?dú)立控制，也可從InstecAPP軟件控制

溫度分辨率±0.001℃(熱敏電阻)，±0.01℃(RTD)，±0.1℃(熱電偶)

控制接口USB虛擬串口可選其他接口

可選項(xiàng)LVDC線性可調(diào)直流電源，用于降低電噪音

溫控軟件 InstecAPP，可提供多語言SDK

安裝支架

針對用戶設(shè)備定制，可讓熱臺水平固定/垂直固定等，垂直光路/水平光路等的用戶設(shè)備皆可適用。通常有：

圓環(huán)式（用于圓形載物臺），平板式（用于方形載物臺）、載物臺式（用于代替設(shè)備載物臺）、立式（用于水平光路）